一、勻膠機是在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備，膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。二、勻膠機有一個或多個滴膠系統，可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉滴膠。隨著晶片尺寸的增大，出現了多點滴膠或膠口移動式滴膠。膠膜厚度一般在500—1000nm，同一晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種，并有流量計進行恒量控制。對涂過膠的晶片有上下刮邊功能，去掉晶片正反面多余的光刻膠。主...

顆粒物污染已成為全球環境和健康問題的重要挑戰之一。為了有效監測和評估大氣中的顆粒物濃度和大小分布，科學家們開發了各種測量工具和技術。其中，掃描電遷移率粒徑譜儀（SMPS）作為一種先進的儀器，廣泛應用于顆粒物測量領域。本文將討論SMPS在顆粒物測量中的應用。1、顆粒物粒徑分布測量：掃描電遷移率粒徑譜儀能夠快速、準確地測量顆粒物的粒徑分布。通過使用一個可調節的電子束，SMPS能夠選擇性地捕獲特定粒徑范圍的顆粒物，并通過測量其在電場作用下的遷移速率來確定粒徑。這使得SMPS能夠提供...

高濃度氣溶膠稀釋器是一種用于將高濃度氣溶膠樣品稀釋至可測試范圍內的儀器。正確使用氣溶膠稀釋器非常重要，因為不正確使用可能會影響結果的準確性。以下是使用氣溶膠稀釋器的正確方法。首先，在使用高濃度氣溶膠稀釋器之前，請確保您已經閱讀了儀器的說明書，熟悉其工作原理和操作步驟。此外，請檢查儀器是否處于良好狀態，并按照廠家的要求進行維護和校準。接下來，請選擇合適的稀釋比例。每個實驗都需要不同的稀釋比例，因此請根據實驗需要選擇。在選擇稀釋比例時，應考慮到所需的檢測靈敏度和采樣濃度。然后，準...

納米顆粒探測器是一種新興的環境監測技術，能夠檢測和分析空氣、水和土壤中的微小顆粒。這些顆粒可能包含有毒或危險物質，因此對于環境保護具有重要意義。本文將介紹納米探測器的原理、應用以及對環境監測的貢獻。首先，讓我們來了解一下納米顆粒探測器的工作原理。它們通常由一個激光器和一個探測器組成。激光器會發射出一束光線，并照射在空氣或液體中。當光線與顆粒相遇時，會散射回來并被探測器捕捉到。通過計算捕捉到的反射光強度和方向，可以確定顆粒的大小、形狀和化學成分。這種方法非常靈敏，可以檢測到直徑...

一、單原子層逐次沉積，沉積層極均勻的厚度和優異的一致性等就體現出來，而沉積速度慢的問題就不重要了。以下主要討論原子層沉積原理和化學，原子層沉積與其他相關技術的比較，原子層沉積設備，原子層沉積的應用和原子層沉積技術的發展。二、通過將氣相前驅體脈沖交替地通入反應器并在沉積基體上化學吸附并反應而形成沉積膜的一種方法(技術)。當前驅體達到沉積基體表面，它們會在其表面化學吸附并發生表面反應。在前驅體脈沖之間需要用惰性氣體對原子層沉積反應器進行清洗。由此可知沉積反應前驅體物質能否在被沉積...

鹽霧氣溶膠發生器是一種常見的實驗設備，被廣泛應用于材料表面腐蝕、防護和涂層等性能測試。其基本原理是將鹽水噴霧加熱，產生水蒸氣并與空氣混合，形成細小顆粒的鹽霧氣溶膠。這些氣溶膠粒子具有不同的粒徑范圍，對于實驗結果和應用效果具有重要影響。那么，鹽霧氣溶膠發生器的粒徑范圍是多少呢？首先，我們需要了解氣溶膠粒徑的定義和分類。氣溶膠粒徑是指氣態物質中懸浮的微小顆粒的尺寸大小，通常用直徑表示。根據粒徑大小，氣溶膠可以分為超細粒子（10μm）等幾類。其中，氣溶膠的細粒子和粗粒子對于環境污染...