開爾文探針系統-半導體表征

開爾文探針系統-半導體表征

開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置，用于測量導體材料的功函數(Work Function)或半導體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)。

材料表面的功函數通常由最上層的1-3層原子或分子決定，所以開爾文探針是一種靈敏的表面分析技術。

開爾文探針系統-半導體表征包括：

□   單點開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境)；

□   掃描開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境)；

□   超高真空(UHV)開爾文探針；

□   濕度控制的腐蝕開爾文探針；

(ASKP)

   ASKP系統是一款可以被大多數客戶所接收的掃描開爾文探針系統，它是在SKP基礎之上包括了彩色相機/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數字示波鏡等配置，其規格如下：

□    2毫米，50微米探針；

□    功函數分辨率 1-3 meV(2毫米針尖)，5-10 meV(50微米針尖)；

□    針尖到樣品表面高度可以達到400納米以內；

□    表面勢和樣品形貌3維地圖；

□    探針掃描或樣品掃描選配；

□    彩色相機、調焦鏡頭、TFT顯示器和專業的光學固定裝置；

□    參考樣品(帶相應的掃描開爾文探針系統的形貌)；

□    備用的針尖放大器；

□    24個月超長質保期；

儀器的特色

□    全球臺商用的*意義上的；

□    最高分辨率的功函數和表面勢，好的穩定性和數據重現性；

□    非零技術(Off-null,ON) ——ON信號探測系統在高信號水平下工作，與基于零信號原理(null-based,LIA)的系統相比，不會收到噪聲的影響擁有高靈敏度；

□    高度調節技術 ——我們的儀器在測量和掃描時可以控制針尖的高度。因為功函數受　　　　　　　　　　　　　　樣品形貌的影響，針尖與樣品表面距離的調節意味著數據的高重現性且不會漂移；

□    該領域內，擁有好的信噪比；

□    快速響應時間 ——測量速度在0.1-10秒間，遠快于其他公司產品；

□    功能強的驅動器 ——選用Voice-coil(VC)驅動器，與通常的壓電驅動器相比，VC驅動器頻率要穩定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作；

□    所有開爾文探針參數的全數字控制；

應用領域

   吸附，電池系統，生物學和生物技術，催化作用，電荷分析，涂層，腐蝕，沉積，偶極層形成，顯示技術，教育，光/熱散發，費米級掃描，燃料電池，離子化，MEMs，金屬，微電子，納米技術，Oleds，相轉變，感光染色，光伏譜學，高分子半導體，焦熱電，半導體，傳感器，皮膚，太陽能電池，表面污染，表面化學，表面光伏，表面勢，表面物理，薄膜，真空研究，功函數工程學；

目前通過我司購買的的開爾文探針測試系統，目前在南昌航空大學工作正常，運行穩定。